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【技能干货】硅片脏污问题研讨

来源:http://hi-infidelity.com 责任编辑:环亚ag88手机版 更新日期:2018-09-13 16:57 字体:
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  【技能干货】硅片脏污问题研讨

  太阳能硅片切开完毕后,在对硅片进行清洗后,会呈现硅片外表脏污的状况,影响了硅片外观质量,一起也会影响后续工序的加工。本文首要对脏污片的类型及其发作原因进行了剖析。

  1.导言

  硅片清洗工序是将线锯机床切开完毕的硅片从玻璃上脱离下来,将胶条去除后,将硅片清洗洁净并分选出等级。清洗设备首要是预清洗机(脱胶机)和清洗机。预清洗机的首要清洗流程为:上料-喷淋-喷淋-超声清洗-脱胶-清水漂洗-下料。清洗机的首要清洗流程为:上料-纯水漂洗-纯水漂洗-碱洗-碱洗-纯水漂洗-纯水漂洗-预脱水(慢提拉)-烘干-下料。

  一般硅片分为A等(一级)、B等(二级)和不合格片,脏污片归于B等片,会下降硅片A级品率。常见的脏污片首要分为三类:砂浆、硅粉残留构成的脏污片,油片和水印片,而脏污片的发作受多种要素的影响的。

  2.硅片清洗的原理

  清洗剂一般为双组份产品,A剂首要有钾盐、缓蚀剂、助洗剂组成,B剂首要由外表活性剂聚合复配而成。一般客户依据清洗的工艺直接将清洗剂添加到纯水中,温度一般设定在45-65℃之间,清洗的时刻不低于2分钟,一般为3-4分钟。添加清洗剂时,依照水的份额核算,当遇到磨光碾磨膏硅片及收回悬浮液切开的硅片应当添加清洗剂的药量,确保硅片清洗的作用。

  3.硅片清洗进程中注意事项

  硅片在清洗进程中,对硅片外表的洁净度有很大的影响,硅片的外表沾污会影响后续作业的进行。

  (1)切开完毕后的硅片一般不能够沾水,如不能及时清洗,先把硅片放到悬浮液中。

  (2)硅片一经放到清洗台上,有必要立刻进行处理,在整个清洗进程中让硅片坚持湿润。

  (3)硅片在脱胶进程中坚持外表湿润,不能天然枯燥。

  (4)硅片在通过每个清洗的周期后,要完全替换后边三个清洗槽的水,以防污染后边清洗的硅片。

  (5)硅片在清洗进程中尽可能削减裸露在空气中的时刻,以避免硅片外表发作花片。

  (6)清洗作业人员在整个清洗进程中不得直接触摸硅片外表,有必要佩戴橡胶手套,避免发作指纹印。

  4.砂浆、硅粉残留脏污片的发作原因

  (1)切开液影响。切开液的首要成分是聚乙二醇,别的还包含脂肪酸、脂肪酸盐、外表活性剂、消泡剂和水等成分。功能优秀的切开液具有杰出的悬浮性、冷却性和易清洗性。因为砂浆是由碳化硅和切开液混组成的,在切开进程中起切开作用的是碳化硅颗粒,跟着钢线的滚动,碳化硅颗粒包裹在钢线外表对硅块进行磨削切开,因而切开液须具有杰出的悬浮性确保碳化硅颗粒能均匀地涣散在钢线外表且不会在砂浆中发作沉积。切开进程中,因为碳化硅颗粒和硅块的冲突作用会发作较多热量,切开液的冷却功能能够下降砂浆温度,避免高温构成硅片灼伤。

  切开液的易清洗功能则会对硅片外观质量发作直接影响,硅片外表脏污片的发作与此有重要联系,因而要求切开液须满意以下参数要求:切开液的粘度须确保碳化硅颗粒的悬浮作用、又能够确保砂浆在线锯上的适度附着,增强砂浆的热传导功率,切开液的粘度规模为45-60pas;切开液的酸碱性,不只直接影响硅片外表的洁净度,还会影响设备的运用寿命,故切开液的酸碱性不易过强,一般为5-7。

  (2)砂浆中微粉含量的影响。砂浆中碳化硅颗粒小于2μm的微粉不具有切开才能,别的,在切开进程中还会发作很多硅粉和铁粉等微粉混入砂浆中,构成一层膜,跟着切开的进行,砂浆中的微粉含量会越来越高,当微粉量足够大时,便会粘附在硅片外表,难以清洗洁净。因而,在进行硅块切开时要确保砂浆的更新量和砂浆质量,下降砂浆中的微粉含量。

  (3)砂浆粘度的影响。砂浆的粘度会影响砂浆在硅片外表的附着量,砂浆粘度越大,硅片外表的砂浆量越多,越难以进行清洗。砂浆粘度首要是由切开液粘度决议,但其受温度影响较大,实验证明,0-25℃的规模内,跟着粘度会跟着温度的下降而上升较多;温度高于25℃时,粘度跟着温度的升高改变较缓慢。一起,砂浆的升温进程和降温进程对粘度来说是不可逆的。硅片切开进程中,砂浆温度控制在21±2℃规模内最佳。

  (4)预清洗喷淋不妥。预清洗洗喷淋槽的水压,水质,喷嘴的流量和视点及喷淋时刻等,都会对清洗作用有很大影响。不少企业为下降成本,预清洗工序运用中水喷淋,因为中水的酸碱性与砂浆发作化学反应,会导致硅片外表难以清洗洁净,因而中水在运用前要查验其ph值是否符合要求。喷嘴的水压一般是2.5MPa,喷嘴的流量和视点以及喷淋时刻要依据实践清洗状况进行调整,确保硅片外表无脏污,再进行脱胶。