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太阳能级多晶硅制程技能讨论

来源:http://hi-infidelity.com 责任编辑:环亚ag88手机版 更新日期:2018-10-29 17:36 字体:
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  太阳能级多晶硅制程技能讨论

  太阳能级多晶硅技能分为化学法与物理法两大类。化学法的多晶硅制程泛指硅在纯化过程中,需求转换成硅化合物的中心产品,再使用裂解或氧化复原反响,将硅化合物转成高纯度的多晶硅质料。

  物理法制程又称为冶金法,是将冶金级硅在不改动硅的实质情况下,将杂质使用物理或化学法移除,尽管仍是有化学反响参加,但其反响对象是针对硼、磷等杂质,硅并未改动其化性,以物理法纯化的纯度有其极限,因为本钱低价,被视为是替代高纯度多晶硅的明日之星。

  化学法制程可产出纯度较高的多晶硅,但因为中心牵涉到许多副产品的操控与处理,技能难度较高,按照不同技能来历,本钱各异,一般来说本钱比物理法制程高。大部分解学法都需使用冶金级硅(metallurgical grade silicon;MG)来当作硅化合物的质料,少量是直接使用二氧化硅来制备硅化合物。

  化学法中,西门子法(Siemens process)广为前期出产半导体级多晶硅的业者所选用,此法技能老练但本钱较高。除西门子法外,尚有ASiMi法、流体床反响法与管状堆积法等。